波長范圍(nm) 光譜分辨率 (nm) 焦距 (mm) 型號 掃描 陣列探測器 成像 真空 超高真空 光學設計 < 1 ～ 310 0.018 1,000 248/310G 光柵入射 < 1 ～ 90 0.015 1,500 252/315 光柵入射 < 1 ～ 254 0.008 2,200 247 光柵入射 < 1 ～ 240 0.006 3,000 249 光柵入射 <1 ～ 70 0.002 10,600 262 光柵入射 1 ～ 15 0.007 70,000 264 光柵入射 10 ～ 170 0.05 292 251 平場環形 1 ～ 20 0.02 5,649 251MX 平場環形 50 ～ 300 0.1 320 343 環形
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遠紫外和軟X射線單色儀/光譜儀長春博盛量子
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