Wyko NT9800是目前功能最強(qiáng)大的光學(xué)輪廓儀，可快速地測(cè)量臺(tái)階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數(shù)。作為Veeco行業(yè)領(lǐng)先的第九代NT系列產(chǎn)品線的最高端產(chǎn)品，NT9800可對(duì)0.1nm至10毫米尺寸進(jìn)行非接觸式三維測(cè)量，并具有納米量級(jí)的垂直分辨率。
具有定標(biāo)功能的NT9800能夠協(xié)助產(chǎn)前工藝及滿足產(chǎn)品開發(fā)的需要，并可作為一個(gè)向量產(chǎn)過渡地穩(wěn)定的，可靠的平臺(tái)。
行業(yè)領(lǐng)先的Wyko Vision軟件有超過200種的數(shù)據(jù)分析工具，包括自動(dòng)序列測(cè)量、數(shù)據(jù)記錄及及時(shí)反饋和SPC的合格/不合格標(biāo)準(zhǔn)評(píng)判。可選的數(shù)據(jù)分析包有膜厚分析軟件（針對(duì)100nm以上的透明薄膜）。SureVision分析模板可便利地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。