ULVAC 愛(ài)發(fā)科修理干式真空泵
DSB-151 DSB-251 DSB-451 DSB-601
DVS-321 DISL-500
三. ULVAC 愛(ài)發(fā)科羅茨泵修理
PRC003A PRC006A PRC012A PMB001C PMB003C PMB006C PMB012C PMB024C PMB040B PMB060B NB100A NB300A NB600A NB1200A
羅茨泵與油旋片真空泵、水環(huán)泵組合用，可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內(nèi)提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場(chǎng)合而設(shè)計(jì)的。腔體內(nèi)沒(méi)有潤(rùn)滑油，對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能。
用途
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備，真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入用途
照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體分析儀器、檢漏設(shè)備，CO2激光設(shè)備，真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐