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3D光學測量儀

詳細信息

三維表面測量儀 3D表面測量儀 三維表面輪廓儀 便攜式3D表面測量儀

產地：法國

測量能力：

3D表面形貌表面輪廓粗糙度&波紋臺層高度

應用范圍：

膜層太陽能硅片紙張高分子材料砂輪橡膠金屬

探針劃痕焊點

基本指標：

Z軸范圍最大至1mm

重復性 10nm

測量范圍最大至 100×100mm

簡介：

MicroPhase是與常規顯微鏡連接使用的便攜式3D表面測量儀。即在原有顯微鏡的基礎上直接增加3D表面的測量和分析功能，而無需其他光學或機電附件，是非常靈活和實惠的選擇。連接的顯微鏡要求帶有標準C-mount接口。

上圖示例：7 X 7mm尺寸金屬架表面測量及坡度分析

MicroPhase 指標參數表：

物鏡	5X		10X		20X		50X		100X
工作距離，mm	23.5		17.5		4.5		1		1
數值孔徑	0.15		0.3		0.45		0.8		0.9
測量范圍(X,Y)，mm²	1.3 x 1.0		0.66 x 0.53		0.33 x 0.27		0.13 x 0.10		0.065 x 0.05
水平分辨率(X,Y)，um	2.8		1.4		0.9		0.5		0.4
GetPhase(GP)/ GetPhase Extended(GPE)	GP	GPE	GP	GPE	GP	GPE	GP	GPE	GP	GPE
最大角度，degrees	8	89	16	89	24	88	38	84	42	78
垂直范圍(Z)，um	35	1000	9	250	4	62.5	1.1	10	0.8	2.5
垂直分辨率(Z)，um	0.35	6.9	0.09	1.7	0.04	0.7	0.011	0.2	0.008	0.17
測量采集點	1.3M (1280 x 1024 pixels)
測量時間，sec	＜10
粗糙度范圍Ra，um	＞0.01 to 3
機械件接口	標準C-mount視頻接口
L x W x H，mm	120 x 74 x 173
重量，kg	2.5

廠家保留未經預先通知即更改技術參數的權利，所有配置和技術條件以即時報價為準。

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產品備注說明：

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