2.工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)小，新的圓形工藝點(diǎn)在硅片上的鉤點(diǎn)面積是1.472mm²，新的三角形工藝點(diǎn)鉤點(diǎn)面積是0.619mm²。

3.使用壽命長(zhǎng)。

4.采用德國(guó)西格里高純石墨，純度高、硬度高、耐磨、使用壽命長(zhǎng)。