三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也稱氯化三甲基硅烷、氯代三

甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室溫下為無色液體，是鹵代硅烷的一種，

在有機合成中有很多用途。它在無水情況下穩定，但遇水即分解，生成

六甲基二硅氧烷和***。由氯甲烷與硅粉在氯化亞銅存在下反應并精餾

提純獲得，也可由親核性甲基試劑如甲基鋰與四氯化硅發生親核取代反

應制得。

中文名稱：三甲基氯硅烷
化學式：C3H9ClSi
CAS登錄號：75-77-4
熔    點：-40℃
外    觀：無色溶液
閃    點：-18℃
分子量：108.64
英文名：trimethyl chlorosilane
密    度：0.857g/cm3
沸    點：57.3℃

無色透明液體。有揮發性，在潮濕空氣中易水解而成游離***。溶于苯

、**和過氯乙烯。